穿过电科装备（bèi）北京烁科（kē）中科（kē）信（xìn）公司制造（zào）中心的（de）风淋系统（tǒng），整条离子（zǐ）注入机研制产线映入眼帘，一台台设备完成装配（pèi）调试后，输送至各集成电路先进产线（xiàn），参与“中国芯”制（zhì）造。

　　北京（jīng）烁科中（zhōng）科（kē）信（xìn）自成立之日起，就以攻克离子注入装备关键技术瓶颈，支撑我国电子元器件（jiàn）制造工艺装备自立自强为主责，以离子注（zhù）入机装备研发与产业化为主业，全（quán）力保障我国（guó）产业链供（gòng）应链安（ān）全与稳定，成（chéng）功入选第（dì）五批国家（jiā）级专精特新“小巨人”企业培育名单。

　　离子注入机的工作原理是通过电磁（cí）场控制高速运动的离子，按照工艺要求（qiú）以（yǐ）精准方式完成注入。概（gài）念虽仅有短短一句话，但其难度不（bú）亚于以飞机的速度一次成功（gōng）地完成侧方位停车，因此，对离子（zǐ）注（zhù）入机的（de）综合（hé）性（xìng）能要求极为严（yán）格。

　　“设备研制毫无经验（yàn）可循，攻关过程（chéng）是一场（chǎng）孤军奋战的战役，纵是如此（cǐ），我们也要一（yī）往无前（qián）。”离子（zǐ）注入机研发团队（duì）负责人表示。

从“0”到全系列

　　2003年，一群意气风发的青年变身“背包客”，坐上（shàng）绿皮车远（yuǎn）赴他乡，扎根（gēn）北京，投身（shēn）离子（zǐ）注入（rù）机事业（yè）。经历了“摸着石头过河”的（de）艰辛（xīn），突（tū）破了艰苦创业的困境，取得技术研发的成果（guǒ）。我国第一（yī）台国产中束流离子注入整机于2008年（nián）研（yán）制成（chéng）功，实现从（cóng）“0”到“1”的突破。

　　团队愈战愈勇（yǒng），连续突（tū）破（pò）了离子源（yuán）、离子束传输与（yǔ）控制等五大关键技术（shù），攻（gōng）克（kè）了离子注入机的技术（shù）瓶颈，完成了第三（sān）代化合物半导体离子注入机及大（dà）束流（liú）离子注入机研制，2021年，成功将高能离（lí）子注入机交付（fù）产线，形（xíng）成（chéng）了全系（xì）列国产离子（zǐ）注入机产（chǎn）品格局，实（shí）现国产离子（zǐ）注入装备的自主创新发展。

从“0”到全覆盖

　　“28纳米几乎是注（zhù）入（rù）工艺中最（zuì）为经（jīng）典（diǎn）、较为复（fù）杂的制程（chéng），也（yě）是注入工序（xù）中需求最多及（jí）生命周（zhōu）期最长（zhǎng）的节点。”

       为保障（zhàng）我国集成电路产线需求，北京（jīng）烁科中科信（xìn）向28纳米工（gōng）艺节（jiē）点发起挑（tiāo）战，不仅要（yào）突破该（gāi）节（jiē）点，还要实（shí）现全系列产品（pǐn）工（gōng）艺全覆（fù）盖。

　　“28纳米工艺对注入角度、注（zhù）入剂量精度有严格要求，注入期间，设备软硬件要紧密配合，需根（gēn）据不同注入区域（yù）实时（shí）对注入（rù）剂量进行调整，稍有（yǒu）偏颇，良率将达不到（dào）产线要求。”

　　由于（yú）厂内设备无法真（zhēn）实模拟出产线注片环境，只能在客户（hù）端（duān）进行测试，攻关期间，工（gōng）艺工程师和设备工程（chéng）师轮番24小时驻守客户端（duān），只为将最新测试数据及（jí）时传输，通过数据分析（xī），对（duì）剂量和角度进行（háng）一遍又（yòu）一遍地调（diào）整（zhěng）。

　　现（xiàn）下，北（běi）京烁科中科信中（zhōng）束流及大束（shù）流（liú）设备均已达成工艺指（zhǐ）标（biāo），且工艺水准经过了先进集成（chéng）电路产线验证，两种设备产线（xiàn）晶圆制备累计超（chāo）过（guò）2000万片。高能（néng）离（lí）子注入（rù）机作为刚上线不久的兆伏级设备同样打通了28纳米节点（diǎn），且与同类型（xíng）设备相比，能量范围更宽、注入均一（yī）性能更好。

　　从仅有十余人的小组，到（dào）如今（jīn）人才（cái）济济（jì）的庞（páng）大（dà）团队，北京烁科中（zhōng）科信一（yī）往无前（qián）的初心从（cóng）未改变，正通过模组式交付方式让装备（bèi）制造（zào）提速（sù），以科（kē）学的科研体系（xì）使研发流程规范，通（tōng）过（guò）与（yǔ）市场接轨提升（shēng）装备（bèi）品质，让更多电科制造的离子注（zhù）入机服务于“中国芯”制造，切实保障我国集成电路制造（zào）行业在成熟和（hé）先进制程（chéng）领域的生（shēng）产安（ān）全，为中国（guó）半导体产（chǎn）业高速发（fā）展赋能。